看了化学气相沉积设备的用户又看了
Orion Proxima 高密度等离子体化学气相沉积系统
1、优越的填孔能力以及高沉积速率
Excellent gap-fill capacity and high deposition rate
2、独特的温度场和 ICP 电磁场设计保证了低温高致密的膜质表现
Unique thermal field and ICP Electromagnetic field design enhancing performance of the high-density film quality at low temperature
3、优化机台结构，缩小占地面积
Optimized system architecture with minimized foot print
4、友好的人机交互和安全性设计保障系统稳定、安全、高效
User-friendly interface and security designed to ensure the system stability, safety and efficiency
技术参数
1、晶圆尺寸 12 英寸
2、适用材料 氧化硅
3、适用工艺 浅沟槽隔离、金属间介质层、钝化层
4、适用领域 新兴应用、集成电路
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
北方华创化学气相沉积（CVD）Orion Proxima 的工作原理介绍
化学气相沉积（CVD）Orion Proxima 的使用方法?
北方华创Orion Proxima 多少钱一台?
化学气相沉积（CVD）Orion Proxima 可以检测什么？
化学气相沉积（CVD）Orion Proxima 使用的注意事项？
北方华创Orion Proxima 的说明书有吗？
北方华创化学气相沉积（CVD）Orion Proxima 的操作规程有吗？
北方华创化学气相沉积（CVD）Orion Proxima 报价含票含运吗？
北方华创Orion Proxima 有现货吗？
