核心参数

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产品介绍售后服务承诺用户评论问商家

主要优点

吞吐量和每片晶圆拥有成本

批量配置中的单片性能，可实现出色的外延层质量

兼容硅晶圆厂的自动化技术支持碳化硅电源市场加速增长

产品特点

带热晶圆转移的行星式反应器

在生长室中高效利用气体

晶圆级温度控制

晶圆盒到晶圆盒处理

快速外延处理

8x150 mm 配置，单晶圆旋转

AutoSat功能，确保批次内的均匀性

SECS-GEM工厂接

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吞吐量和每片晶圆拥有成本

批量配置中的单片性能，可实现出色的外延层质量

兼容硅晶圆厂的自动化技术支持碳化硅电源市场加速增长

产品特点

带热晶圆转移的行星式反应器

在生长室中高效利用气体

晶圆级温度控制

晶圆盒到晶圆盒处理

快速外延处理

8x150 mm 配置，单晶圆旋转

AutoSat功能，确保批次内的均匀性

SECS-GEM工厂接口

售后服务承诺

产品货期: 60天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

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