产地类别： 国产
旋转速度： 最大旋涂速度为10000rpm（空载）
旋转精度： ＜±0.1rpm
最大加速度： 最大旋涂加速度为50000rpm/sec（空载）
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▲超高精度伺服电机驱动，满足高端工艺要求
▲工业机设计，7寸全彩触屏操作
▲HDPE内腔,内腔深度增加45%，减少腔内气流干扰
▲增设独立下抽风口，便于控制腔内气流
▲可添加背部清洗和去边胶功能，满足工业机应用
▲可添加防溅罩式清洗和显影功能，满足定制需要
▲数显压力表实时显示负压，反应灵敏，防止飞片
产品参数
最大支持wafer尺寸： 8'晶圆(非标准尺寸可定制)
转速可调精度 ：0.1 rpm
转速精准度 ： <±0.1 rpm
最大旋涂速度 ：10000rpm(空载)
最大旋涂加速度 ：50000rpm/sec(空载)
工艺时间设定 ：0-3000sec/step
时间设置精度 ：0.1 sec
旋涂作业均匀性 ：<±3%在6寸范围内
单步旋涂及多步旋涂可选，内置100组可编辑匀胶程序
带四路自动点胶端口，可升级自动点胶装置
产品可定制，提高转速稳定性，增加电子水平显示功能
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
