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设备用途:团簇型等离子体化学气相沉积设备(PECVD),采用等离子体增强化学气相沉积技术,在光学玻璃、硅片、石英、不锈钢片等不同衬底材料上,沉积氮化硅、非晶硅、微晶硅、二氧化硅等薄膜,可以制备非晶硅、微晶硅薄膜太阳能电池器件。
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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