看了外延系统的用户又看了
SES系列 8英寸多片硅外延系统
1、适用于 5-150 微米范围的硅外延工艺
Advanced reactor for 5-150µm Silicon Epitaxy
2、先进的感应加热和气流场技术提供了优良稳定的工艺性能
Advanced induction heating and gas flow field technology provide excellent and stable process performance
3、多片平板式设计，高容载量
Multi-wafer horizontal design, high capacity
4、自动化程度高、产能高、低运营成本
High automation and throughput, lower CoO/CoC
技术参数
Technical Parameters
1、晶圆尺寸 4、5、6、8 英寸
Wafer size 4”5”6”8"
2、适用材料 硅
Applicable material Si
3、适用工艺 N&P 硅外延
Applicable process N&P type Si epitaxy
4、适用领域 科研、集成电路
Applied field R&D， IC
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
北方华创外延系统SES系列的工作原理介绍
外延系统SES系列的使用方法?
北方华创SES系列多少钱一台?
外延系统SES系列可以检测什么？
外延系统SES系列使用的注意事项？
北方华创SES系列的说明书有吗？
北方华创外延系统SES系列的操作规程有吗？
北方华创外延系统SES系列报价含票含运吗？
北方华创SES系列有现货吗？
