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Polaris系列 8英寸通用物理气相沉积系统
1、多种材料膜层工艺能力，低损伤，高深宽比填充能力
Multi material film processing ability, low damage, high aspect ratio filling capability
2、独立工艺腔室，最多可支持 6 个工艺模块
Separate chamber and configure up to 6 process modules
3、优异的温度，颗粒控制能力
Excellent temperature control and particle control
4、配置灵活、大产能、低运营成本
Flexible configuration, higher throughput and lower CoO/CoC
技术参数
1、晶圆尺寸 6、8 英寸
2、适用材料 银、钨化钛、金、铂、钛、氮化钛、铝等
3、适用工艺 倒装工艺、金属电极等
4、适用领域 科研、化合物半导体、新兴应用、集成电路
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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物理气相沉积Polaris系列 的使用方法?
北方华创Polaris系列 多少钱一台?
物理气相沉积Polaris系列 可以检测什么？
物理气相沉积Polaris系列 使用的注意事项？
北方华创Polaris系列 的说明书有吗？
北方华创物理气相沉积Polaris系列 的操作规程有吗？
北方华创物理气相沉积Polaris系列 报价含票含运吗？
北方华创Polaris系列 有现货吗？
