为您推荐相似的物理气相沉积设备
eVictor系列 8英寸通用物理气相沉积系统
1、独特的加热基座设计，具备良好的温度均匀性，高温厚铝工艺连续作业无累温
Unique design of heating pedestal, ensure superior temperature uniformity, continuous running without temperature accumulation effect in HT-Thick Al process
2、高温铝工艺具备高深宽比填充能力
HT-Thick Al process with high aspect ratio filling capacity
3、背金工艺薄片传输及工艺，过程温度实时监控，优异的温度和应力控制能力
Thin wafer handle for backside metal, excellent temperature control and stress control
4、双腔传输平台，最多可支持 10 个工艺模块
Platform with two transfer modules, configuration upto 10 process modules
5、靶材利用率高，大产能，低运营成本
Higher target utilization rate, higher throughput, lower CoO/CoC
技术参数
1、晶圆尺寸 6、8 英寸
2、适用材料 钛、氮化钛、铝、 镍、镍钒、银
3、适用工艺 铝线、正面电极工艺、背面金属化工艺等
4、适用领域 科研、化合物半导体、集成电路
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
北方华创物理气相沉积eVictor系列 的工作原理介绍
物理气相沉积eVictor系列 的使用方法?
北方华创eVictor系列 多少钱一台?
物理气相沉积eVictor系列 可以检测什么？
物理气相沉积eVictor系列 使用的注意事项？
北方华创eVictor系列 的说明书有吗？
北方华创物理气相沉积eVictor系列 的操作规程有吗？
北方华创物理气相沉积eVictor系列 报价含票含运吗？
北方华创eVictor系列 有现货吗？
