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eVictor Al PVD 铝物理气相沉积系统
1、先进的磁控溅射系统，有效提高薄膜均匀性及靶材利用率
Advanced plasma sputtering system design to obtain good uniformity and high target utilization
2、独特的加热基座和高温静电卡盘设计，具备良好的温度均匀性
Unique design of Heater and HT-ESC, enable superior temperature uniformity control
3、全新双腔传输平台，可配置性强，最多可支持 10 个工艺模块
New platform with two transfer modules, upto 10 process modules configured
4、优质的 Whisker 解决方案，降低产品缺陷
Optimized solution to control whisker defects, better defect performance
5、大产能，低运营成本
Higher throughput, lower CoO/CoC
技术参数
1、晶圆尺寸 8、12 英寸
2、适用材料 高温铝、氮化钽、氮化钛、钛
3、适用工艺 热铝、铝焊盘、铝线
4、适用领域 新兴应用
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
北方华创物理气相沉积eVictor Al PVD 的工作原理介绍
物理气相沉积eVictor Al PVD 的使用方法?
北方华创eVictor Al PVD 多少钱一台?
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北方华创eVictor Al PVD 的说明书有吗？
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