看了化学气相沉积设备的用户又看了
液体原料CVD设备 PD-270STLC
低应力薄膜的高速(>300nm/min)沉积
PD-270STLC是一种低温(80 ~ 400°C)、高速(>300 nm/min)的等离子体增强CVD系统,可用于大规模生产。Samco独特的液态源CVD系统采用自偏置沉积技术和液态TEOS源,以低应力沉积SiO2薄膜,从薄膜到极厚的薄膜(高达100 µm)。该系统通过采用大气盒装载和ø236毫米的托架实现了高产量,可安装三个ø4英寸的晶圆。
最大加工尺寸为ø236mm的托架(ø3" x 5, ø4" x 3, ø8" x 1)。
阴极耦合自偏析沉积技术可以实现低应力薄膜的高速(>300nm/min)沉积。
通过低温沉积,可以在塑料表面上沉积薄膜。
高纵横比结构的优秀阶梯覆盖率
使用锗、磷、硼液源控制折射率。
优异的工艺均匀性和可重复性
塑料材料上保护膜的沉积
在3D LSI的通孔侧壁上沉积绝缘膜。
光波导的制造(光纤芯/包层)。
制造用于微型机械生产的面罩。
覆盖高纵横比结构,如MEMS器件。
SAW设备的温度补偿膜和钝化膜。
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
SAMCO化学气相沉积(CVD)PD-270STLC的工作原理介绍
化学气相沉积(CVD)PD-270STLC的使用方法?
SAMCOPD-270STLC多少钱一台?
化学气相沉积(CVD)PD-270STLC可以检测什么?
化学气相沉积(CVD)PD-270STLC使用的注意事项?
SAMCOPD-270STLC的说明书有吗?
SAMCO化学气相沉积(CVD)PD-270STLC的操作规程有吗?
SAMCO化学气相沉积(CVD)PD-270STLC报价含票含运吗?
SAMCOPD-270STLC有现货吗?
最多添加5台