德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备
德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备

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Diener

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TETRA240

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欧洲

  • 白金
  • 第11年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

该PECVD系统可以沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、类金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜等。


主要技术参数:

PC控制软件

RF发生器 0~3000W 脉冲模式

腔体防腐处理,400*400*1500mm,240L

腔体加热80℃

带观察窗

多路工艺气体通道,MFC控制 防腐处理

HMDSO单体通道

易燃易爆气体安全阀

Gas Shower气浴电极

设备外尺寸2000*600*1700mm

进口真空泵组

电压 3项400V


相关方案

  • 等离子清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型,对金属、半导体和大多数高分子材料,像是玻璃都能很好的清洁处理,常见的有手机玻璃盖板,显示屏,各种光学玻璃、曲面玻璃、玻璃纤维等等。

    材料 2022-01-12

  • 为了确保满足钟表行业对于产品的美观性、功能性和耐用性方面的高要求,等离子体的使用日益增加。由于能够在处理温度较低且间隙渗透性极高的情况下进行超精细清洗,故此等离子体的应用已变得越来越重要。无需对组件进行后续的干燥处理同样也很重要。等离子工艺流程极为环保,不会在需要处理的部件上残留任何清洁剂残余物,这意味着只会产生极低的甚至不会产生任何废弃处理费用。

    地矿 2021-08-27

  • 为了确保满足钟表行业对于产品的美观性、功能性和耐用性方面的高要求,等离子体的使用日益增加。由于能够在处理温度较低且间隙渗透性极高的情况下进行超精细清洗,故此等离子体的应用已变得越来越重要。无需对组件进行后续的干燥处理同样也很重要。等离子工艺流程极为环保,不会在需要处理的部件上残留任何清洁剂残余物,这意味着只会产生极低的甚至不会产生任何废弃处理费用。

    地矿 2021-08-27

  • 等离子清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型,对金属、半导体和大多数高分子材料,像是玻璃都能很好的清洁处理,常见的有手机玻璃盖板,显示屏,各种光学玻璃、曲面玻璃、玻璃纤维等等。

    材料 2022-01-12

  • diener 低压等离子系统Tetra 150中文产品资料,更多详细资料,有需要可联系上海尔迪仪器科技有限公司

    1272MB 2022-01-17
  • diener等离子表面处理技术。更多等离子表面处理技术详细资料,可联系上海尔迪仪器科技有限公司进行联系。

    16276MB 2021-10-18
  •      冰升温至0℃会变成水,如继续使温度升至100℃,那么水就会沸腾成为水蒸气。随着温度的上升,物质的存在状态一般会呈现出固态→液态→气态三种物态的转化过程,我们把这三种基本形态称为物质的三态。那么对于气态物质,温度升至几千度时,将会有什么新变化呢? 由于物质分子热运动加剧,相互间的碰撞就会使气体分子产生电离,这样物质就变成由自由运动并相互作用的正离子和电子组成的混合物(蜡烛的火焰就处于这种状态)。我们把物质的这种存在状态称为物质的第四态,即等离子体(plasma)。

    13MB 2021-07-06
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Diener化学气相沉积(CVD)TETRA240的工作原理介绍

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