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v 应用领域：巨磁电阻（GMR）、组合材料科学（CMS）、半导体、超导体、纳米级器件、光子学、光伏（PV）、OLED（发光二极管）、有机薄膜
v 最大样品尺寸：8英寸
v 溅射源：强磁靶、永磁靶，数量根据用户定制
v 电源：直流电源、射频电压
v 真空系统：超高真空
v 样品台加热：最高至1100℃
v 控制系统：全自动控制
进样室：根据用户需求定制
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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