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v 满足石墨烯和碳纳米管研究的高温和快速冷却要求
v 直径200毫米的石英室
v 内部石英管的设计便于拆卸和清洗
v 基片尺寸可达直径150毫米
v 三区电阻炉，150毫米的均匀温度区
v 温度最高可达1000°C
v 使用节流型VAT蝶形阀下游压力控制在50 mTorr到500 mTorr之间
88立方英尺/分的Ebara ESA25-D干式真空泵 - 两级干式真空
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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