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v 本套系统主要用于材料表面形貌的观察;平面或三维测量。可采用3D观测模式,对被测物形状,粗糙度,表面积等进行测量,可以做高度,宽度,横截面,角度,R值,表面积,体积,线粗糙度,面粗糙度等的测量分析。同时可以做材料断口、金相的观测,陶瓷,微流道,微加工,现代加工制造,MEMS研究,微纳制造等
v 光源类型:≤404nm半导体激光
v X/Y方向测量显示分辨率:1nm
v Z向测量显示分辨率:0.5 nm
v 面扫描速度:≥125Hz、线扫描速度:≥7900Hz
v 角度特性:稳定测量倾角≥87.1度的斜面
XY载物台电动运行范围:≥100mm*100mm
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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