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沃特塞恩HMPS-2080SP的微波等离子体CVD设备沃特塞恩2023年全新推出的一款多用途、高性能的适用于高品质金刚石及多种碳基材料制备的综合实验和产业化设备,该设备可提供2英寸的金刚石材料生长能力。
. 搭载沃特塞恩8kW分体式高稳定固态功率源;选用最新一代大容积圆柱型水冷放电腔。
. 性能先进,安全、可靠性强、重现性好,操作简便。
. 多参数实时监测、采集与记录,PLC屏幕控制,多重联锁保护。
应用范围
高品质单晶金刚石、多晶金刚石的批量生长;
多种薄膜的CVD制备、材料表面处理和改性、低温氧化物的生长等。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 可指派专员前往客户现场进行员工培训
免费仪器保养: 半年一次
保内维修承诺: 保质期内免费维修(认为损坏除外)
报修承诺: 接到报修电话24小时内专人处理
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