普若菲特PRFT化学气相沉积设备PR-OP1200-TID2Z-150系列CVD系统_参数

核心参数

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化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积薄膜材料的技术，包括大范围的绝缘材料，以及大多数金属材料和金属合金材料。为此我们研发成套的CVD镀膜系统，适用于各大高校材料实验室、科研院所、环保科学等领域。

加热系统

设备功率：220V 5KW

炉膛材质：高纯氧化铝纤维材料

加热元件：HRE高温合金丝

可达温度：1200℃（<1小时）

连续温度：1150℃（连续）

温度精度：±1℃

热电偶:K型热电偶

可达加热速率：≤20℃/分钟

炉膛尺寸：Φ150mm*440mm

炉管尺寸：Φ50/Φ60/Φ80/Φ100*1000mm

供气系统

设备含两路质量流量控制器（50、100、200、500Sccm可选）

压差范围： 0.05-0.4MPa

精度： ±1% FS

重复精度： ±0.2% FS

接口尺寸： Φ6.35mm双卡套接头

连接管道：采用洁净抛光的气路专用耐腐不锈钢管

真空系统

抽速m/h(L/s)：4(1.1)

极限分压强-无气镇（Pa）：5×10^-2

进排气连接口DN(mm）：KF25

用油量（L)：0.6L

压阻皮拉尼复合型规管：

测量范围：1.0×10^-2～1.067×10⁵Pa

测量精度：1.0*10³Pa ~1.067*10⁵ Pa ±0.15%的满量程

　　　　　1.0×10^-1～1.0×10²Pa　 ±10%的读数

高真空手动挡板阀：KD25

波纹管：KF25*800

油雾过滤器：KF25

卡箍及链接管件(焊接）：KF25

外形尺寸：1100mm*1250mm*750mm

重量：约130KG

控制系统

1. 可预存15条温度曲线，避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦；

2.实验过程更加直观，操作更加便捷；

3.PRFT-101E嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式，非线性式样温度修正；

4. 具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能。

5. 具有预约启动功能。

售后服务承诺

产品货期: 7天

整机质保期: 12月

培训服务: 安装调试现场免费培训

安装调试时间: 到货后7天内

电话支持响应时间: 24小时内

是否提供维保合同: 否

维修响应时间: 12天内

节假日是否提供上门服务: 是

核心零部件货期: 2天

核心零部支持时间: 12月

是否支持上门巡检: 是

是否提供预防性维护计划: 是

是否提供期间核查方案: 否

是否提供免费应用支持: 是

是否提供付费应用支持: 是

是否提供线上售后平台: 是

维修付款方式: 先维修后付款

基本维修资料公开: 技术参数；故障代码

无理由退换货: 不支持

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