探针式轮廓仪/台阶仪
探针式轮廓仪/台阶仪

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布鲁克

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customized-3

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美洲

  • 银牌
  • 第2年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数
  • 扫描长度范围: 55mm(2英寸)
  • 最大样品厚度: 50mm(2英寸)
  • 最大晶圆尺寸: 200mm(8英寸)
  • 垂直范围: 1mm(0.039英寸)

测量功能:二维表面轮廓测量 /可选三维测量

样品视景:可选放大倍率,1 to 4mm FOV

探针压力:使用LIS 3 传感器 115mg

低作用力:使用N-Lite+低作用力传感器: 0.0315mg

探针曲率半径可选范围: 50nm25 um

高径比(HAR)针尖: 10um x 2um200um x 20um  可按客户要求定制针尖

样品X/Y载物台:

手动X-Y平移:100mm (4英寸)

机动X-Y平移:150mm (6 英寸)

样品旋转台:手动,360° 旋转    机动,360°旋转

扫描长度范围:55mm(2英寸)

每次扫描数据点:最多可达120.000数据点

最大样品厚度:50mm(2英寸)

最大晶圆尺寸:200mm(8英寸)

台阶高度重现性:<4A1sigma1um台阶上

垂直范围:1mm(0.039英寸)

垂直分辨率:最大1A (6.55um垂直范围下)


售后服务承诺

产品货期: 60天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

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布鲁克轮廓仪customized-3的工作原理介绍

轮廓仪customized-3的使用方法?

布鲁克customized-3多少钱一台?

轮廓仪customized-3可以检测什么?

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布鲁克customized-3的说明书有吗?

布鲁克轮廓仪customized-3的操作规程有吗?

布鲁克轮廓仪customized-3报价含票含运吗?

布鲁克customized-3有现货吗?

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