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产品简介:
落地式 NPFLEX-1000 白光干涉(WLI)测量系统为精密制造业带来了前所未有的灵活性、测量能力和性能,从而理解和控制制造过程。该系统采用开放式龙门架设计,具有300mm的样品台与目镜间距,因此能够在各种形状和尺寸的样品上轻松测量微观及宏观特征。全新的一键高级查找表面; 通过结合自动对焦和自动照明,消除了在每次测量之前手动聚焦表面的需要,从而提升用户体验,并减少测量时间。结合自适应 USI 测量模式和引导、简化的 VisionXpress 界面, NPFLEX-1000为汽车、医疗器械和增材制造等生产领域提供了毫不妥协的计量方法。
产品参数:
NPFLEX-1000 | |
测量模式 | PSI, USI,VSl, 选配的 Film |
最大扫描范围 | ≤10 mm |
垂直分辨率 | <0.01 nm |
横向分辨率 | 0.38 ym minimum (Sparrow criterion); |
0.13 um (with AcuityXR”) | |
台阶高度准确性 | <0.75% |
台阶高度重复性 | <0.12596 1 sigma repeatability |
最大扫描速度 | <122 um/sec (带激光参照) |
样品反射率 | 0.05%-100% |
样品尺寸(H*D*W) | 350 x 304 x 304 mm |
249 mmH 自动样品台 | |
最大样品重量 | 45 kg (77 Kg不含标准级) |
XY样品台 | 300mm自动样品台 |
Z轴聚集范围 | 249(350 mm 不带自动台) |
光源 | 专利双LED光源 |
物镜 | Parfocal: 2.5x,5x,10x,20x,50x,100X,115X;LWD: 1x,2x,5X,10X; |
TTM:2x,5x,10x,20%;Bright Field: 10x; | |
单目标适配器,可选电动五位置转塔 | |
可用放大器 | 0.55X、0.75X、1X1.5X、2X 自动感应模块 |
摄像头 | 500 万像素单色摄像头,带 1200x1000 数据阵列,可选彩色摄像头 |
软件系统 | Vision64"and VisionXpress on Windows 10 LTs 64-bit 0s |
工具包 | AcuityXR; Advanced PSl; Automatic Pattern Alignment, MATLAB; Multiple Region Analysis;Optical Microlens Analysis; Production Mode, SDK; TCP/P; Surevision: Vision64 Map |
报告语言 | 英语、德语、法语、意大利语、西班牙语、日语、中文、波兰语、韩语、巴西葡萄牙语、俄语 |
自动化 | 自动对焦、自动强度、自动保存、自动缝合、在线分析、分散和网格自动化、数据库记录 |
校正 | 通过 NlST/PTB 可追踪步高和横向标尺标准;可选自动和连续内部激光信号 |
设备尺寸(W*D*H) | 852 x 793 x 1608 mm |
重量 | 478Kg |
产品特点:
超大尺寸和表面斜率兼容性简化了样品准备过程,并增加了每个部件可测量表面的范围
卓越的易用性使任何经验级别的操作员都能获得专家级的结果
超快的自动化测量和分析程序缩短了结果时间
高度坚固的桥梁结构和集成的隔振系统可提供生产环境下的长期精度和可靠性
开放龙门架和旋转头测量复杂表面
载物台和物镜之间的距离为 300 mm,适用于各种的定制夹具和卡具,如真空晶片卡盘或通用样品安装套件等。零件尺寸和形状的自由度意味着样品制备和测量设置时间更少。因此制造商可以快速更换零件并轻松地在多个表面上进行测量。通过旋转头进一步增加了对待测表面的测量能力。该旋转头还能够对侧壁、斜边和倾斜表面进行重复检查
自动样品台最大化机动性
NPFLEX-1000 能在不重新固定样品的前提下简便、自动聚焦到工件的各个测量位置。
自动XY样品台,实现高到300mm见方的可测表面
带有夹具卡盘的旋转样品台,用于样品固定
Theta 旋转台,实现样品沿竖直方向旋转
Phi 旋转台,实现样品沿水平轴旋转
Phi 辊筒旋转台,实现小圆柱样品的自动定位和旋转
自校准参考激光确保稳定性
当无法严格控制环境因素时,NPFLEX-1000仍能依赖内置的自校准激光保持良好的再现性。内置的参考信号激光干涉仪持续校准环境温度的影响,从而始终确保高精度和可重复测量,非常适合需要绝对长期稳定性的应用
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 7. 免费培训至用户能完全独立操作,我方随机提供用户操作及维修手册1份,使用户能
免费仪器保养: 3月1次
保内维修承诺: 2. 产品整机免费保修期为壹年(耗材除外),负责终身维修。
报修承诺: 在接到用户通知后立即响应。
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