产地类别： 进口
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可多台设备模块化组合成团簇集群式（cluster）或直线式（in-line）系统
多掩膜板/基片切换系统
可升级为与手套箱集成版本
标准膜厚均匀性：+/- 3 %（特殊定制可实现+/- 1 %）
OPTIvap 4支持：100x100 mm方片或6“晶圆
OPTIvap 6支持：210x210 mm方片或12“晶圆
应用：
储能电池
有机光电器件（OLED,OPV）
光学镀膜
半导体器件、光伏电池
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 提供一次操作，日常维护和校准技术培训
免费仪器保养: 无
保内维修承诺: 在保修期内，我方承担（手套、填充材料、前窗面板等，耗材、易损件除外）设备维修
报修承诺: 4个小时内做出回应；两个工作日内到达用户现场
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