上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源,进口离子源,KDC 40
上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源,进口离子源,KDC 40

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考夫曼

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KDC 40

--

美洲

  • 金牌
  • 第17年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数
  • 产地: 美国
  • 类型: 考夫曼离子源
  • 应用: 真空镀膜

因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准

KRI 考夫曼离子源 KDC 40
上海伯东代理美国原装进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 40: 小型低成本直流栅极离子源. KDC 40 是 3cm 考夫曼型离子源升级款. 具有更大的栅极, 更坚固, 可以配置自对准第三层栅极. 离子源 KDC 40 适用于所有的离子工艺, 例如预清洗, 表面改性, 辅助镀膜, 溅射镀膜, 离子蚀刻和沉积. 离子源 KDC 40 兼容惰性或活性气体, 例如氧气和氮气. 标准配置下离子能量范围 100 至 1200ev, 离子电流可以超过 120 mA.

KRI 考夫曼离子源 KDC 40 技术参数

型号

KDC 40

供电

DC magnetic confinement

 - 阴极灯丝

1

 - 阳极电压

0-100V DC

电子束

OptiBeam™

 - 栅极

专用, 自对准

 -栅极直径

4 cm

中和器

灯丝

电源控制

KSC 1202

配置

-

 - 阴极中和器

Filament, Sidewinder Filament  或LFN 1000

 - 架构

移动或快速法兰

 - 高度

6.75'

 - 直径

3.5'

 - 离子束

集中
平行
散设

 -加工材料

金属
电介质
半导体

 -工艺气体

惰性
活性
混合

 -安装距离

6-18”

 - 自动控制

控制4种气体

* 可选: 可调角度的支架


KRI 考夫曼离子源 KDC 40 应用领域
溅镀和蒸发镀膜 PC
辅助镀膜(光学镀膜)IBAD
表面改性, 激活 SM
离子溅射沉积和多层结构 IBSD
离子蚀刻 IBE

若您需要进一步的了解考夫曼离子源, 请参考查看官网或咨询叶女士
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    其他 2023-03-08

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售后服务承诺

产品货期: 365天

整机质保期: 1年

培训服务: 提供付费培训

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考夫曼镀膜机KDC 40的工作原理介绍

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