产地类别： 国产
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伺服控制电机
支持wafer尺寸: 碎片至200mm (8”圆晶)
转速可调精度: 1rpm ; 转速精准度: <1rpm
旋涂速度: 20-10000rpm
旋涂加速度: 0-50,000rpm/sec (空载)
工艺时间设定: 0-3,000sec/step，时间设置精度: 0.1sec
旋涂作业均匀性: < 3% 在8英寸范围内
单步旋涂及多步旋涂可选，内置100组可编辑匀胶程序
附加显影模块，3路管路程序控制
产品可定制，提高转速稳定性，增加电子水平显示功能
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
