产地类别: 进口
旋转速度: 12.000
旋转精度: 高精度
最大加速度: 1-30.000
基片直径: 6” /150 mm
腔体直径: 4” x 4” 100 mm
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德国SPS(POLOS) spin 150x新款旋涂仪用于实验室使用
一、SPS(POLOS)公司介绍
SPS(POLOS)旋涂机主要用于利用向心力制造厚度低于 10 nm 的均匀高质量厚度的薄膜。通常,您在半导体晶圆上旋转涂光刻胶,但我们的POLOS旋涂机也用于旋涂聚合物薄膜,如嵌段共聚物(BCP),如PDMS和PMMA,或作为低成本的溶胶-凝胶方法,例如旋涂ZnO薄膜。同时,POLOS旋涂机提供无限的工艺:在触摸屏上轻松直观的编程,无限的程序/步骤和图形表示。以及可重复的旋涂工艺,一次又一次。这使得POLOS旋涂机成为您可以买到的的实验室旋涂机
二、SPS(POLOS)型号介绍
SPS(POLOS) Part nr: 41096 POLOS SPIN150i
SPS(POLOS) Part nr: 41387 POLOS SPIN200i NPP
SPS(POLOS) Part nr: VP-230V Vacuum Pump (Oil-less)
SPS(POLOS) Part nr: 27852
SPS(POLOS) Fragment Adapter (D-V2.5-S50-PP)
二、SPS(POLOS)产品分类
SPS(POLOS) 旋涂机
易于安装、可重复的旋涂
SPS(POLOS)无掩模光刻
精度的纳米结构
SPS(POLOS)面罩矫正器
高产值和用户友好
SPS(POLOS)电炉
精确的温度控制
电影表征
超快速和准确的晶圆映射
光刻胶
适用于永久性应用
喷涂机
高精度纳米颗粒涂层
晶圆处理
安全运输和储存您的晶圆
补充设备
您可能需要的其他工具
三、SPS(POLOS)产品介绍
POLOS SPIN150x
POLOS SPIN150x 是一种多功能、高质量的基底
旋涂机,由 NPP 制成。它专为研发和小批量生产
而设计。台式型号可手动或自动(可选)分配化学
品
POLOS SPIN150x腔体规格
外壳材质 天然聚丙烯(NPP)
底物直径 可用 6” (150 mm) 晶圆
可用 4” x 4” (100 mm) 底物
POLOS SPIN150x适用范围:
• 涂层
• 清洗冲洗/烘干
• 显影
• 刻蚀
• PDMI
• 其他程序
POLOS SPIN150x硬件规格:
液体过滤疏水阀
•
• 独特的外壳和排水管设计,可切换桌面和Indeck模式
用于注射器或喷嘴的中心注射支架
• 盖锁和真空传感器确保用户安全
• 大尺寸触摸显示屏(可拆卸)
• USB 端口,用于在 USB 驱动器上存储配方和进行软件
更新
POLOS SPIN150x驱动装置规格:
• 间接无刷驱动装置
• 转速高达 12.000 RPM(取决于底物/卡盘)
• 高加速度、高精度
• 加速/减速 1-30.000 RPM
• 顺时针、逆时针旋转和漩涡选项
德国SPS(POLOS) spin 150x新款旋涂仪用于实验室使用
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 视频远程培训
免费仪器保养: 12个月
保内维修承诺: 在保修期内,所有服务及配件全部免费
报修承诺: 产品邮寄到elma售后维修部进行检测维修
德国SPS(POLOS)单晶圆旋涂机SPIN200i适用于涂层、清洁、漂洗/干燥
型号:SPIN200i 5万德国SPS(POLOS)基材旋涂机SPIN150i用于光刻胶使用
型号:SPIN150i 3万德国SPS(POLOS) SPIN150x 多功能高质量的基底 旋涂机
型号: SPIN150x 1.2万 - 1.3万德国SPS(POLOS)匀胶机SPIN150i升级型号SPIN150x用于半导体行业使用
SPS(POLOS) SPIN150i NPP供货范围是:内径 160 毫米的碗,适用于最大 6 英寸(150 毫米)晶圆,最大 4 英寸 x 4 英寸(100 毫米)基板,材料天然聚丙烯 NPP; 手动化学分配:实施盖子中的单注射器支架; 彩色触摸屏; USB端口; 电缆; 吸盘和适配器:A-V36-S45-PP-HD 真空吸盘 + D-V10-S50-PP-HD - 碎片适配器; 一组腔体内衬
SPS匀胶机POLOS SPIN150X的工作原理介绍
匀胶机POLOS SPIN150X的使用方法?
SPSPOLOS SPIN150X多少钱一台?
匀胶机POLOS SPIN150X可以检测什么?
匀胶机POLOS SPIN150X使用的注意事项?
SPSPOLOS SPIN150X的说明书有吗?
SPS匀胶机POLOS SPIN150X的操作规程有吗?
SPS匀胶机POLOS SPIN150X报价含票含运吗?
SPSPOLOS SPIN150X有现货吗?
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