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1、结构:
* NPP-H(具有α晶的天然聚丙烯)的耐腐蚀结构)为整个系统提供更好的刚性和韧性
*高品质无缝制造表面,全工程塑料
*适用于通风柜和杂物箱
*最大处理室直径:202毫米
2、数字电机控制:
*具有数字增量速度信号的数字实时闭环控制伺服电机反馈
*提供高精度的转速(±0.1 rpm)和宽范围的转速(1至12,000 rpm),这是传统PID电机控制器无法实现的
3、透明盖:
淬火的透明玻璃瓶盖,带有注射器支架和N2扩散器,可在处理过程中进行N2吹扫
*注射器支架可帮助用户始终在期望的相同位置和位置分配抗蚀剂/化学物质
*控制室环境对于恒定的过程结果至关重要
*坚固的自弹式盖铰链,可自动将盖保持在最佳状态,以便轻松搬运和卸下基板;同时确保盖子上的任何残留化学物质都流入系统排水口
*透明盖清晰可见内部
4、安全联锁:
*Process Chambe Lid始终为所有用户安全锁定,并且仅在单击盖子打开显示图标时才能打开
*电磁盖联锁在打开时停止旋转,而真空联锁(可编程)在没有足够真空或没有真空的情况下停止旋转
*防止伤害使用者并避免基材破裂
5、连接:
*三个可编程继电器输出,可用于操作自动分配系统,外部阀或其他附件。
*多种夹头可供选择,用于直径最大为160 mm的不同尺寸的基板
*制氮过程中的氮气扩散器
6、可拆卸控制器:可拆卸的全尺寸触摸屏,手套防护,IP 52,耐化学腐蚀
7、彩色触摸屏显示:可轻松编程速度,加速度和时间
8、无限程序存储:可用于多个步骤的配方,每个配方均适用于:
*时间:0.1至99999秒/步
*速度:0至12,000 rpm
*旋转方向:顺时针,逆时针,搅动
*加速/减速:1至30,000 rpm / sec(每步可选)
*真空开/关
*3个可编程的干触点:例如用于分配单元,氮气扩散器等的自动控制
9、USB端口:可轻松上传和下载配方以及更新软件版本
10、存储:结构化和受密码保护的方案存储,可轻松安全地进行管理
型号 | SPIN150i | SPIN200i | POLOS300 | POLOS450 | POLOS600 |
基片范围 | 直径160mm 或者 4英寸方片 | 直径260mm 或者 6英寸方片 | 直径360mm 或者 8英寸方片 | 直径 460mm 或者 12英寸方片 | 直径600mm 或者 超大方片 |
程序段数 | 无限制 | 无限制 | 无限制 | 无限制 | 0个程序 |
操作步数 | 90个步骤 | ||||
旋转速度 | 0-12,000 rpm ±1rpm steps | 0-1500rpm ±1rpm steps | |||
旋转精度 | ±0.1 rpm | ||||
旋转方向 | 顺时针、逆时针、交换摆 | ||||
加速度 | 30,000 rpm/sec | ≤1500rpm时取决于负载 | 500 rpm/sec | ||
旋转时间 | 无限制*,± 0.1 seconds steps | 1 to 999 sec/step | |||
腔体直径 | 202 mm | 302 mm | 402 mm | 502 mm | 642mm |
触屏控制 | 全彩触屏控制 | 全彩触屏控制 | 全彩触屏控制 | 全彩触屏控制 | 全彩触屏控制 |
产品货期: 200天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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