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Laurell的WS-650-15B型匀胶机结构紧凑,具有先进的功能。这款650系列系统将可容纳高达300mm的晶圆和9英寸×9英寸(229mm×229mm)基板,最大转速为12,000RPM(基于100mm硅片)。
过程控制器:650系列过程控制器采用强大的微处理器,并使用其随附的PC软件(编写在面向对象的编程语言中),它在过程中实现了几乎高的灵活性定义和使用。该控制器允许操作员在流程执行过程中进行实时交互,包括暂停时间、停下来,从那里继续。该系统可以并且将会持续更新,轻松快速在现场提供可下载的固件修订版。
这些过程只会在控制水平下运行我们提供的复杂性。650系列控制器也可以与带有Spin3000的PC结合使用。Laurell的流程管理软件。但是,这不是编程或运行设备所必需的。使用PC增加了在运行过程、远程操作、编程或通过LAN或Internet进行通信时记录过程的能力。该软件免费提供,允许操作员在实际安装的自旋处理器硬件之外创建虚拟过程模拟,实际上,让他们在进入过程之前可以尝试一下。所有650个系统都可以通过简单的插件模块进行升级或重新使用,而无需返回工厂,无论是实际的还是虚拟的,并且可以包含几乎无限数量的流程和步骤。
简要说明:该系统的外壳通常由LaurellTechnologies的固体共聚物混合物制成。与天然聚丙烯不同,这种材料能够抵抗溶剂和强酸和强碱。可根据要求提供样品进行测试和验证。提供坚固的PTFEHostaflon®TFM-1600/Teflon®AF外壳(适用于高温化学和亚微米颗粒研究)。
Laurell的内部碗设计消除了飞溅回流,因此无需安装“飞溅环"。我们的排气适配器带有可拆卸的储液罐,既实用又方便。
密闭的碗形设计,加上过程控制器的精度,使大多数涂层材料能够在静止状态下干燥,从而提高均匀性并最大限度地减少颗粒污染。上部增压室在底座内部关闭以提供重叠密封,盖子内部有一个特殊的排水沟,用于将流体引导到系统后部,以防止化学品意外滴落到基材上。
专有的迷宫式密封可保护电机和控制电子设备免受化学污染。该密封件为工艺室提供氮气吹扫,并且在现场测试中已被证明在亚微米级别上是无颗粒的。该系统的盖子具有耐化学腐蚀性,并且在整个系统的一些非润湿区域仅使用ECTFE涂层的316不锈钢螺钉。
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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