多靶磁控溅射镀膜系统
多靶磁控溅射镀膜系统

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雷博科仪

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MS450

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中国大陆

  • 银牌
  • 第2年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

MS450高真空磁控溅射镀膜设备详细组成及功能如下:

  1. 真空室:提供高真空环境,确保镀膜过程的纯净性。

  2. 溅射靶枪:用于安装溅射靶材,通过高能粒子轰击靶材表面,使靶材原子或分子溅射出来并沉积在样品上形成薄膜。

  3. 溅射电源:为溅射靶枪提供所需的电能,控制溅射过程的稳定性和效率。

  4. 加热样品台:用于加热样品,以改善薄膜的附着力和结晶质量。

  5. 流量控制系统:精确控制镀膜过程中所需气体的流量,确保镀膜成分的准确性和均匀性。

  6. 真空获得系统:包括真空泵等设备,用于将真空室内的气体抽出,达到所需的真空度。

  7. 真空测量系统:实时监测真空室内的真空度,确保镀膜过程在合适的真空环境下进行。

  8. 气路系统:为镀膜过程提供所需的气体,如惰性气体、反应气体等,并通过精确控制实现特定功能的镀膜。

  9. PLC+触摸屏自动控制系统:实现设备的自动化控制和操作,提高生产效率和镀膜质量。该系统集成度高,操控方便,可实现多种镀膜工艺的灵活切换和精确控制。

主要用途包括:

  • 开发纳米级单层、多层及复合膜层等。

  • 制备金属膜、合金膜、半导体膜、陶瓷膜及介质膜等,如银、铝、铜、镍、铬、镍铬合金、氧化钛、氮化钛等。

  • 支持两靶单独溅射、依次溅射、共同溅射等多种溅射模式,满足不同镀膜需求。

应用领域广泛,涵盖高校、科研院所的教学、科研实验,以及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等。同时,也适用于钙钛矿太阳能电池、OLED、OPV太阳能电池等高科技行业。


售后服务承诺

产品货期: 60天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

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