看了化学气相沉积设备的用户又看了
提供大面积刻蚀与沉积的量产型解决方案，LED工业要求高产量，高器件质量和低购置成本。 PlasmaPro 1000更好地解决了这些需求。
更大的批量生产能力
高产量
更稳定的器件质量
低购置成本
提供单晶圆传送腔室或者多至三个腔室的集群式配置
标准的真空传送腔室，具有直开式和集群式选项
出色的正常运转时间
高质量器件性能和良率
490mm电极 - 更为先进的批量规模，多达7 x 6”晶圆，提供了更高的产量
可靠的硬件系统易维护性 - 出色的正常运转时间
压盘 - 增强晶圆冷却
Z向可移动电极 - 更好的均匀性
双进气口 - 易于工艺调整
特殊的载盘设计 - 每片晶圆在最小的边缘去除区域之内，均获得有效的冷却，且易于使用和维护
高导通的径向（轴对称）抽气结构 - 确保提升了工艺均匀性和速率
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
牛津仪器化学气相沉积（CVD）PlasmaPro 1000的工作原理介绍
化学气相沉积（CVD）PlasmaPro 1000的使用方法?
牛津仪器PlasmaPro 1000多少钱一台?
化学气相沉积（CVD）PlasmaPro 1000可以检测什么？
化学气相沉积（CVD）PlasmaPro 1000使用的注意事项？
牛津仪器PlasmaPro 1000的说明书有吗？
牛津仪器化学气相沉积（CVD）PlasmaPro 1000的操作规程有吗？
牛津仪器化学气相沉积（CVD）PlasmaPro 1000报价含票含运吗？
牛津仪器PlasmaPro 1000有现货吗？
