面议
德国海德堡
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VPG 200 / VPG 400
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欧洲
看了有掩模光刻机的用户又看了
| 写入模式 | I-QX系列 | 我 | 第二 | 第三 |
|---|---|---|---|---|
| 写作表现 | ||||
| 最小结构尺寸 [μm] | 0.75 | 0.75 | 1 | 2 |
| 最小行数和间距 [μm] | 1.5 | 1.5 | 2 | 4 |
| 地址网格 [nm] | 12.5 | 12.5 | 25 | 50 |
| 边缘粗糙度 [3σ， nm] | 30 | 40 | 50 | 70 |
| CD均匀度 [3σ， nm] | 55 | 65 | 75 | 110 |
| 拼接稳定性 [3σ， nm] | 30 | 60 | 70 | 100 |
| 第 2 层对准 [nm] | 225 | 225 | 350 | 500 |
| 写入速度 [mm²/min] | 485 | 970 | 3150 | 6400 |
| 100 x 100 mm 的曝光时间2面积 [min] | 28 | 14 | 5.6 | 3.5 |
| 系统特点 | ||
|---|---|---|
| 光源 | 355 nm 的高功率 DPSS 激光器 | |
| 最大基板尺寸 | 9 英寸 x 9 英寸/17 英寸 x 17 英寸 | |
| 基板厚度 | 0 至 12 mm （可根据要求提供其他厚度） | |
| 最大曝光面积 | 205 x 205 毫米2/ 410 x 410 毫米2 | |
| 自动对焦 | 实时自动对焦系统（光学和气动） | |
| 自动对焦补偿范围 | 高达 80 μm | |
| 流量箱 | （闭环）温控环境试验箱 | |
| 对准 | 用于测量和对准的相机系统和软件包 | |
| 其他功能和选项 | 2D载物台贴图和数据、Mura校正、边缘检测器、多种数据输入格式（DXF、CIF、GDSII、Gerber等）、可选的自动掩模处理、可选的Zerodur®载物台和特殊卡盘 | |
| 系统尺寸 | ||
| 系统 / 电子机架 | ||
| 宽度 [mm] | 2605 / 800 | |
| 深度 [mm] | 1652 / 650 | |
| 高度 [mm] | 2102 / 1800 | |
| 重量 [kg] | 3550 / 180 | |
| 安装要求 | ||
| 电气 | 400 VAC ± 5 %， 50/60 Hz， 16 A， 3 相 | |
| 压缩空气 | 6 - 10 巴 |
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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