看了去胶机的用户又看了
技术规格：
•等离子源：2.45Ghz微波等离子源，1200W
•腔体 ：石英.φ240mm，长460mm，21L
适用于Wafer最大200mm（8英寸）批量生产
•外观尺寸：长760mm，宽775mm，高775mm
•处理气体：3路气体+数字MKS流量控制器
•真空腔门：抽屉式门+观察窗
•温控Wafer Chuck
•观察窗 ：UV与微波屏蔽保护
•GUI 10.4"触摸屏，Window CE操作系统
选项：
•进口干泵系统（含相关附件）
•法拉第笼
•石英舟
•信号灯塔-红黄绿三色
•额外的处理气体线路-最多至4路气体
•包装，运输
技术规格：
•等离子源：2.45Ghz微波等离子源，1200W
•腔体 ：石英.φ240mm，长460mm，21L
适用于Wafer最大200mm（8英寸）批量生产
•外观尺寸：长760mm，宽775mm，高775mm
•处理气体：3路气体+数字MKS流量控制器
•真空腔门：抽屉式门+观察窗
•温控Wafer Chuck
•观察窗 ：UV与微波屏蔽保护
•GUI 10.4"触摸屏，Window CE操作系统
选项：
•进口干泵系统（含相关附件）
•法拉第笼
•石英舟
•信号灯塔-红黄绿三色
•额外的处理气体线路-最多至4路气体
•包装，运输
技术规格：
•等离子源：2.45Ghz微波等离子源，1200W
•腔体 ：石英.φ240mm，长460mm，21L
适用于Wafer最大200mm（8英寸）批量生产
•外观尺寸：长760mm，宽775mm，高775mm
•处理气体：3路气体+数字MKS流量控制器
•真空腔门：抽屉式门+观察窗
•温控Wafer Chuck
•观察窗 ：UV与微波屏蔽保护
•GUI 10.4"触摸屏，Window CE操作系统
选项：
•进口干泵系统（含相关附件）
•法拉第笼
•石英舟
•信号灯塔-红黄绿三色
•额外的处理气体线路-最多至4路气体
•包装，运输
技术规格：
•等离子源：2.45Ghz微波等离子源，1200W
•腔体 ：石英.φ240mm，长460mm，21L
适用于Wafer最大200mm（8英寸）批量生产
•外观尺寸：长760mm，宽775mm，高775mm
•处理气体：3路气体+数字MKS流量控制器
•真空腔门：抽屉式门+观察窗
•温控Wafer Chuck
•观察窗 ：UV与微波屏蔽保护
•GUI 10.4"触摸屏，Window CE操作系统
选项：
•进口干泵系统（含相关附件）
•法拉第笼
•石英舟
•信号灯塔-红黄绿三色
•额外的处理气体线路-最多至4路气体
•包装，运输
技术规格：
•等离子源：2.45Ghz微波等离子源，1200W
•腔体 ：石英.φ240mm，长460mm，21L
适用于Wafer最大200mm（8英寸）批量生产
•外观尺寸：长760mm，宽775mm，高775mm
•处理气体：3路气体+数字MKS流量控制器
•真空腔门：抽屉式门+观察窗
•温控Wafer Chuck
•观察窗 ：UV与微波屏蔽保护
•GUI 10.4"触摸屏，Window CE操作系统
选项：
•进口干泵系统（含相关附件）
•法拉第笼
•石英舟
•信号灯塔-红黄绿三色
•额外的处理气体线路-最多至4路气体
•包装，运输
产品货期: 200天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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去胶机Q240可以检测什么？
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Alpha PlasmaQ240的说明书有吗？
Alpha Plasma去胶机Q240的操作规程有吗？
Alpha Plasma去胶机Q240报价含票含运吗？
Alpha PlasmaQ240有现货吗？
