自然氧化膜去除设备

批处理式自然氧化膜去除设备 RISE-300批处理式自然氧化膜去除设备RISETM-300是用于去除位于LSI的Deep-Contact底部等难以去除的自然氧化膜的批处理式预清洗装置。可处理200mm，300mm尺寸晶圆。

• 产品特性 / Product characteristics

• •高产率以及低CoO

  •良好的刻蚀均一性（小于±5%/批）和再现性

  •干法刻蚀

  •Damage-Free（远端等离子、低温工艺）

  •自对准接触电阻仅为湿法的1/2

  •灵活的装置布局

  •高维护性（方便的侧面维护）

  •300mm晶圆批处理：50枚/批

  
  

• 产品应用 / Product application

• •自对准接触形成工艺处理

  •电镀工艺处理

  •晶膜生长处理

  •Co/Ni自对准多晶硅化物的处理

• 产品参数 / Product parameters

1、公司介绍深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。公司主要业务如下:装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。2、成长历程•2020年（公司成立年）•2300万订单额2021年 7000万订单额2022年 2.5亿订单额2023年3.2亿订单额