产地类别: 国产
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产品介绍 PP-N-06 是由我司最新研制的全自动热紫外一体纳米压印设备。采用自动脱模工艺,有效 减少纳米压印结构缺陷。在运行过程中,实现完全自动压印、固化、脱模工艺,工艺稳定重复 性高,可满足高性能、高产出、高良率的生产需求。 PP-N-06 适用于微纳光学 DOE、AR/VR 衍射光波导、生物芯片、LED、半导体器件等应用领 域的研发及小批量生产。
2.技术参数及规格要求: 设备名称:全自动热紫外一体纳米压印设备(PP-N-06) 主机包含:真空系统,压印模腔自动控制系统,压力自动控制系统,基底运送系统;PLC 全自动控制系统,按键及触屏操作界面,紫外光源。 (1)可实现最大 6 英寸全面积压印; (2)采用高稳定性进口紫外汞灯光源,光源功率≥400W; (3)压印精度:≥200nm; * (4)压印压力:0.1-30 kpa 可调; (5)可实现纳米软模板自动脱模工艺 (6) PLC 自动控制系统; (7)软件图形化用户界面; (8)可适用硅片、玻璃、石英、塑料、蓝宝石、金属等通用衬底应用; (9)残胶均匀性≤±10%; (10)适用 PDMS 及软膜工艺,能够实现全自动压印过程;
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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