全自动热紫外一体纳米压印设备

产品介绍 PP-N-06 是由我司最新研制的全自动热紫外一体纳米压印设备。采用自动脱模工艺，有效 减少纳米压印结构缺陷。在运行过程中，实现完全自动压印、固化、脱模工艺，工艺稳定重复 性高，可满足高性能、高产出、高良率的生产需求。 PP-N-06 适用于微纳光学 DOE、AR/VR 衍射光波导、生物芯片、LED、半导体器件等应用领 域的研发及小批量生产。

2.技术参数及规格要求： 设备名称：全自动热紫外一体纳米压印设备（PP-N-06） 主机包含：真空系统，压印模腔自动控制系统，压力自动控制系统，基底运送系统；PLC 全自动控制系统，按键及触屏操作界面，紫外光源。 （1）可实现最大 6 英寸全面积压印； （2）采用高稳定性进口紫外汞灯光源，光源功率≥400W； （3）压印精度：≥200nm； * （4）压印压力：0.1-30 kpa 可调； （5）可实现纳米软模板自动脱模工艺 （6） PLC 自动控制系统； （7）软件图形化用户界面； （8）可适用硅片、玻璃、石英、塑料、蓝宝石、金属等通用衬底应用； （9）残胶均匀性≤±10%； （10）适用 PDMS 及软膜工艺，能够实现全自动压印过程；