去胶机
去胶机

¥1万 - 20万

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M&R

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RIE 去胶机

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港澳台

  • 银牌
  • 第1年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

产地类别: 国产

  • 功率: 0~600W
  • 频率: 13.56MHz
  • 真空泵: 螺杆式干泵
  • 腔体材质: 航空铝合金
  • 抽速要求: 30 秒内真空度<30Pa 180 秒内
  • 真空漏率: ≤50mTorr
  • 破真空系统: N2 破真空
  • Wafer: 8 寸及以下可兼容
  • 腔体尺寸: 300×300×120mm
  • 电极板要求: 水冷水平电极、single wafer
  • 电极板水冷: 配置冷水机实现水冷控温
  • 工艺气体气路: 配置 N2、O2、Ar 三路工艺气体
  • 系统控制: PLC

M&RRIE去胶机产品介绍如下:

去胶机.png 

产品概述

M&RRIE去胶机是一款高性能的反应离子刻蚀(RIE)设备,专为微电子、半导体、光电等领域设计,用于去除材料表面的光刻胶、氧化物、金属薄膜等残留物。该设备以其高效、稳定、精准的去除效果受到业界广泛好评。

 核心特点

1. 高效去胶:采用先进的RIE刻蚀技术,能够在短时间内高效去除材料表面的残留物,提高生产效率。

2. 稳定可靠:设备结构紧凑,设计合理,运行稳定可靠,能够保证长时间连续工作的稳定性。

3. 精准控制:通过精确控制刻蚀气体的流量、压力、功率等参数,实现去胶过程的精准控制,保证去胶效果的一致性。

4. 兼容性强:支持多种材料、多种尺寸的晶圆处理,兼容性强,满足不同用户的需求。

 应用领域

M&RRIE去胶机广泛应用于微电子、半导体、光电等领域,包括但不限于:

* 去除光刻后的HDMSBARC

* 刻蚀高分子聚合物,如聚酰亚胺、PDMS、石墨烯等

* 湿法蚀刻前的晶圆清洗、表面预处理

* 表面改性(润湿性和附着力的改善)

* 故障分析中的选择性层蚀刻

 售后服务

我们提供全面的售后服务支持,包括设备安装、调试、培训、维修等。同时,我们拥有专业的技术团队和完善的售后体系,能够为用户提供及时、专业的技术支持和解决方案。

总之,M&RRIE去胶机以其高效、稳定、精准的去胶效果和广泛的应用领域,成为微电子、半导体、光电等领域用户的理想选择。


售后服务承诺

产品货期: 30天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

安装调试时间: 到货后3天内

电话支持响应时间: 24小时内

是否提供维保合同:

维修响应时间: 1天内

节假日是否提供上门服务:

核心零部件货期: 60天

核心零部支持时间: 30

是否支持上门巡检:

是否提供预防性维护计划:

是否提供期间核查方案:

是否提供免费应用支持:

是否提供付费应用支持:

是否提供线上售后平台:

维修付款方式: 先维修后付款

基本维修资料公开: 技术参数

无理由退换货: 不支持

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M&R去胶机RIE 去胶机的工作原理介绍

去胶机RIE 去胶机的使用方法?

M&RRIE 去胶机多少钱一台?

去胶机RIE 去胶机可以检测什么?

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M&RRIE 去胶机的说明书有吗?

M&R去胶机RIE 去胶机的操作规程有吗?

M&R去胶机RIE 去胶机报价含票含运吗?

M&RRIE 去胶机有现货吗?

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