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POLOS专为研发和小批量生产而设计。空气动力学效率高的腔室可提高均匀性,而天然聚丙烯或 PTFE 结构可确保无金属、无污染且易于清洁的工艺区域。
适用于镀膜、清洗、冲洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI等工艺
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型号 | SPIN150i | SPIN200i | POLOS300 | POLOS450 | POLOS600 |
基片范围 | 直径160mm 或者 4英寸方片 | 直径260mm 或者 6英寸方片 | 直径360mm 或者 8英寸方片 | 直径 460mm 或者 12英寸方片 | 直径600mm 或者 超大方片 |
程序段数 | 无限制 | 无限制 | 无限制 | 无限制 | 0个程序 |
操作步数 | 90个步骤 | ||||
旋转速度 | 0-12,000 rpm ±1rpm steps | 0-1500rpm ±1rpm steps | |||
旋转精度 | ±0.1 rpm | ||||
旋转方向 | 顺时针、逆时针、交换摆 | ||||
加速度 | 30,000 rpm/sec | ≤1500rpm时取决于负载 | 500 rpm/sec | ||
旋转时间 | 无限制*,± 0.1 seconds steps | 1 to 999 sec/step | |||
腔体直径 | 202 mm | 302 mm | 402 mm | 502 mm | 642mm |
触屏控制 | 全彩触屏控制 | 全彩触屏控制 | 全彩触屏控制 | 全彩触屏控制 | 全彩触屏控制 |
产品货期: 200天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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