尤尼坦快速退火炉RTP-150

带前置式抽屉的多功能桌面单元，适用于以下应用：

• 适用于各种半导体工艺的优秀工具

• 实施新的半导体工艺

• 原型研究

• 质量管理

• 退火

• 快速热处理

• SiAu、SiAl、SiMo合金化

• 低介电常数

• 植入后退火

• 铜浆烧制

• 电阻膏烧制

• 其他工艺按需提供

技术参数：

• 适用于最大 150 mm （6“） 或 156 mm x 156 mm 基板尺寸的单晶圆

• （可选：100 mm 适配器）

• 由石英玻璃制成的工艺室（室高度：40 mm）

• 带集成气体入口和出口

• 包括一条带氮气质量流量控制器的过程气体管路（5 nlm = 标准升/分钟）

• 由 24 个红外灯 （21 kW） 加热

• 顶部和底部加热

• 斜坡下降速率：T=1000 °C˃400 °C 200 K/min。
  斜坡下降速率：T= 400 °C˃100 °C 30 K/min。

• 外部泵系统具有真空功能（最高 10E-3 hPa，最高 10E-6 hPa：参见 RTP-150-HV）

• SPS 过程控制器，带 50 个程序，每个程序最多 50 个步骤（以太网接口），SIMATIC

• 7 英寸触摸屏，便于编程和过程控制

• 最高气温 1000 °C

• 通过热电偶进行温度控制

• 需要水冷

• 电气连接类型：32 A CEE 插头（3 x 230 V，3 相，N，PE，21 kW）

• 烤箱尺寸：504 mm x 504 mm （700） x 570 mm（宽 x 深 x 高）

• 重量： 55 kg

烤箱将由西门子 SPS 控制器进行编程。这允许存储 50 个程序，并保存所有温度曲线和段。
可根据要求提供水冷却器、附加流量计、附加气体管线、附加热电偶等选件和附件。该工具
适用于各种应用程序和客户。体积小，可以舒适地装卸腔室。烤箱可以很容易地放在
标准实验室的桌子上。

 选件和配件：