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快速退火炉(RTP,Rapid ThermalProcessing)系列产品,采用红外辐射加热及冷壁技术，可实现对实验材料的快速升温和降温，同时搭配超高精度的温度控制系统，可达到极佳的温场均匀性，对材料的快速热处理、快速退火、快速热氧化、快速热氮化及金属合金化等研究和生产工作起到重要作用。
快速退火炉系列产品主要分为RTP-3-01、RTP-3-04、RTP-3-06、RTP-3-08、RTP-3-12等,分别能处理 1-12 吋样本。
应用功能
快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)
-离子注入/接触退火
-SiAu、SiAl、SiMo合金化
-太阳能电池片键合
-电阻烧结
-低介电材料热处理
-晶体化、致密化
-材料制备
提供可控压力环境并实现以上应用
提供Vac、lG、02、Gas mixture等气氛环境
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 1次线上培训
免费仪器保养: 无
保内维修承诺: 因产品质量问题免费保修（各种消耗品除外），仪器提供全面维护，使之处于正常工作状态
报修承诺: 产品质保期内本公司提供36小时内的维修服务响应（除节假日外），以最快的速度派遣
嘉仪通退火炉RTP-3的工作原理介绍
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