美国Laurell匀胶机650-15N
美国Laurell匀胶机650-15N

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劳瑞恩

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WS-650-15NPPB

--

美洲

  • 银牌
  • 第9年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

匀胶机(英文名:Spin Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜 

详细介绍:匀胶机(英文名:Spin Coater& Spin Processor)
行业俗称:匀胶台、匀胶机、旋涂仪、涂胶机、镀膜机、涂层机

一、产品概述:

匀胶机WS-650Mz-15NPPB适应于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。美国Laurell匀胶机具有稳定的转速和快速的启动,可以保证半导体中胶厚度的一致性和均匀性,这正是650S 型匀胶机的特点。


 

WS-650-15满足,最大可达直径305mm(12英寸)圆片或边长229x229mm(9英寸)方片;最小可达10 mm(可选配最小到3mm或5mm)涂敷。   





MYCRO WS650系列旋转涂膜仪的数码速度控制器采用的是一个高计数位的光学编码器输入至伺服马达控制器,其设置点精度小于0.006%,获美国NIST激光测量标准认证,无需校准。

请根据您实际需要的大小和材质选择相应的旋转涂膜仪/旋涂仪订购代码:

 WS-650系列旋转涂膜仪:

MYCRO新近推出超强功能的新型控制器WS-650型旋转涂膜仪,在原有WS-400B

型基础上,增加了电脑交互功能,集成旋涂分析软件SPIN 3000,可以通过电脑实时分析和控制实验结果!

NPP材质的6英寸旋转涂膜仪,MYCRO WS-650系列型号:

WS-650-23N

WS-650-23N-IND

WS-650-23N-OND

(均为NPP材质台式 8.5英寸 216 毫米) 直径 桶状处理腔;WS-400B可以涂敷最大直径为6英寸 150 毫米)或4英寸 X 4英寸102 X 102 毫米)的方形基底材料;科研院所用的zui理想的旋转涂敷仪;是销量zui好的台式系统旋转涂膜仪 

NPP材质8英寸,MYCRO WS-650旋转涂膜仪系列型号:

WS-650-8N

WS-650-8N-IND

WS-650-8N-OND

(旋转涂膜仪为NPP材质内置式带远程控制器;12.5英寸 318 毫米) 直径 桶状处理腔;旋转涂膜仪可以涂敷最大直径为8英寸 200毫米)或7英寸 X 7英寸 178 X 178 毫米) 的方形基底材料;这系列旋转涂膜仪是销量zui好的wet-bench型系统 

NPP材质13英寸,MYCRO WS650旋转涂膜仪系列型号:

WS-650-15N

WS-650-15N-IND

WS-650-15N-OND

(天然聚丙烯材质外置式带远程控制器;直径为14.5英寸 370 毫米)半圆形处理腔;可以涂敷最大直径为13英寸 330 毫米)的基底材料 ;我们提供的最大天然聚丙烯系统)

MYCRO WS-650系列旋转涂膜仪内的高精度数码控制器:

可设定存储20个不同样片的旋涂程序段;

每个程序段可以设置51步不同的速度状态;

旋转涂膜仪随意任意时间范围的加减速,可重复性达到+/-0.5RPM,分辨率小于0.5RPM;这一系列的旋转涂膜仪上的液晶显示屏可以实时读取任意速度状态

  


可选配置:

IND构造为湿站系统设计,带远程控制;

OND构造为手套箱系统设计,带远程控制;

UD自动滴胶装置:UD-3带倒吸装置的多喷嘴可编程针筒,

EBR(Edge   Bead Remover):晶圆去边,机械装置;


售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 1次线上培训

免费仪器保养:

保内维修承诺: 因产品质量问题免费保修(各种消耗品除外),仪器提供全面维护,使之处于正常工作状态

报修承诺: 产品质保期内本公司提供36小时内的维修服务响应(除节假日外),以最快的速度派遣

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