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最佳沉积均匀性控制 – 晶圆级
颗粒数
最高的产品产量
的生产成本
的真正水平流行星式反应器 - 内置最佳均匀性和率
所有石墨工艺室 – 的颗粒和最高的可重复性性能
三重工艺气体喷射 – 产量优化
单晶圆旋转 – 将批次室生产率与单室可调性相结合
高温下的自动卫星装载 – 最高吞吐量、颗粒
15x4 英寸
8x6 英寸
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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