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Propel™ 300mm全自动单晶圆簇系统是唯一经过行业验证的GaN MOCVD工具，能够在300mm衬底上生产5G RF、Photonic和先进的CMOS器件。
Propel 300mm 系统采用单晶圆反应器平台，能够在 300mm 晶圆上生产一流的高质量外延膜，具有出色的均匀性、可重复性和产量。Propel 300mm 系统可配置多达 3 个模块化集群室，并提供自动化的膜包到膜包处理，以实现最大的灵活性和生产率。
单晶圆反应器基于 Veeco 领先的 TurboDisc® 设计，包括 IsoFlange™ 和 SymmHeat™ 技术，可在整个晶圆上提供层流和均匀的温度分布。客户可以轻松地将工艺从 Veeco 单晶圆反应器 Propel 和 Propel HVM 系统转移到 Propel 300mm GaN MOCVD 系统，以便快速开发到生产。
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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