看了物理气相沉积设备的用户又看了
系统型号特点
1,溅射
射频、直流、脉冲直流、HIPIMS 和无功。
提供圆形、线性和圆柱形阴极。
2,热蒸发
使用各种船只,灯丝和坩埚加热器。
自动调谐,实现精确的速率控制。
3,电子束蒸发
提供多种电源和电源选项。
可编程扫描控制器,带配方存储。
扭矩感应坩埚分度器可检测口袋堵塞。
可选择在腔室中使用多个电子束源。
4,等离子体和离子束
用于清洁和薄膜增强的一系列离子源,包括辉光放电等离子体清洁。
夹具与自动化
探索可以添加到您的 EvoVac 平台的增强功能和选项。创建一个专门设计的系统,以满足您的研究和过程要求。这些系统可以进行任何程度的定制,以满足用户的应用需求,使用理想的组件以及精确的工艺开发。还拥有基材夹具增强功能和基板和阴影掩模自动化选项
先进的过程控制软件
PC/PLC 控制的配方,适用于单次、批量或自动化过程。
先进的数据记录和过程跟踪确保了过程的一致性和可重复性
高分辨率控制提供了令人印象深刻的低速率稳定性和一致的掺杂率。
中央控制站管理每个模块并安排每个腔室的过程。
独立控制多个腔室(如果适用)。
可以轻松创建和修改复杂的配方。
自动 PID 控制环路调整可显著缩短工艺开发时间。
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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AngstromNexdep有现货吗?
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