尤尼坦快速退火炉RTP-100-HV-EP
尤尼坦快速退火炉RTP-100-HV-EP

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尤尼坦

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RTP-100-HV-EP

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欧洲

  • 银牌
  • 第2年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

带前置式抽屉的多功能桌面单元,适用于以下应用:

  • 适用于各种半导体工艺的优秀工具

  • 实施新的半导体工艺

  • 原型研究

  • 质量管理

  • 退火

  • 快速热处理

  • SiAu、SiAl、SiMo合金化

  • 低介电常数

  • 植入后退火

  • 铜浆烧制

  • 电阻膏烧制

  • 其他工艺按需提供


技术参数:

  • 适用于最大 100 毫米(4 英寸)的单晶圆

  • 由石英玻璃制成的工艺室

  • 带集成气体入口和出口

  • 包括一条带氮气质量流量控制器的过程气体管路(5 nlm = 标准升/分钟)

  • h由顶部和底部红外加热,每个加热带 9 个灯和 14 kW

  • 顶部和底部加热

  • 外部泵系统的真空度(最高 10E-6 hPa,最高 10E-3 hPa:参见 RTP-100),
    包括涡轮分子泵、真空测量、闸阀和压力表;不包括粗泵

  • SPS 过程控制器,带 50 个程序,每个程序最多 50 个步骤(以太网接口),SIMATIC

  • 7 英寸触摸屏,便于编程和过程控制

  • 最高气温 1200 °C

  • 通过热电偶进行温度控制

  • 需要水冷

  • 电气连接类型:2 x 32 A CEE 插头(3x 230 V,3 相,N,PE,18 kW)

  • 烤箱尺寸:504 x 521 x 576 毫米(宽 x 深 x 高)

  • 重量: 68 kg

烤箱将由西门子 SPS 控制器进行编程。这允许存储 50 个程序,并保存所有温度曲线和段。可根据要求提供水冷却器、附加流量计、附加气体管线、附加热电偶等选件和附件。该工具适用于各种应用程序和客户。体积小,可以舒适地装卸腔室。烤箱可以很容易地放在标准实验室的桌子上。

 

选件和配件:

RTP-100-HV-EP型带有 1 MFC 氮气 (5 nlm) 的基本单位
RTP-MFC型质量流量控制器(总共最多 4 个)
国会议员隔膜泵或隔膜泵
RVP(RVP)旋片泵
RTP-Ox (英语)氧气水平测量
RTP-MM型湿度测量
RTP-H2+H2S氢气模块使用 100% 氢气,带安全装置,包括 MFC
RTP-SW型用于冷水机组和/或真空泵的开关盒
RTP-TC型添加热电偶以在设备上测量(最多 1 个)
RTP-录像机VCR 连接器和线路(根据要求)
WC III闭环水冷站
RTP-GP型石墨板或基体(SiC涂层:根据要求)
RTP-100-个人电脑用于一个 100 mm 过程控制器单元(双包装烤箱)的附加烘箱室
RTP-QR-50型适用于 50 mm 晶圆尺寸的适配器
RTP-QR-75型适用于 75 mm 晶圆尺寸的适配器


售后服务承诺

产品货期: 60天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

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