为您推荐相似的无掩模光刻机/直写光刻机
写入模式 | 我 | 第二 |
---|---|---|
写作表现 | ||
最小特征尺寸 [μm] | 0.5 | 0.8 |
最小行数和间距 [μm] | 0.8 | 1.2 |
地址网格 [nm] | 4 | 8 |
边缘粗糙度 [3σ, nm] | 30 | 40 |
CD均匀度 [3σ, nm] | 50 | 60 |
2鼈层对齐(全局)[nm] | 100 | 130 |
写入速度 [mm2/分钟] | 340* | 1020* |
*快速模式:680 和 2056 mm2/min,具有相似的性能,但没有规格 | ||
100 x 100 mm 的曝光时间2面积 [min] | 39 | 17 |
系统特点 | ||
---|---|---|
光源 | 355 nm 的高功率 DPSS 激光器 | |
最大基板尺寸和写入面积 | 300 x 300 毫米2 | |
基板厚度 | 0 至 12 mm (可根据要求提供其他厚度) | |
最大曝光面积 | 300 x 300 毫米2 | |
自动对焦 | 实时自动对焦系统(光学和气动) | |
自动对焦补偿范围 | 高达 80 μm | |
流量箱 | (闭环)温控环境试验箱 | |
对准和计量 | 用于测量和对准的相机系统和软件包 | |
其他功能和选项 | 100、150、200 和 300 mm 晶圆的全自动处理和预对准。光学边缘检测、顶部对准以及可选的红外和背面对准。Zerodur® 载物台和高分辨率差分干涉仪 | |
系统尺寸 | ||
系统 / 电子机架 | ||
宽度 [mm] | 2605 / 800 | |
深度 [mm] | 1652 / 650 | |
高度 [mm] | 2102 / 1800 | |
重量 [kg] | 3550 / 180 | |
安装要求 | ||
电气 | 400 VAC ± 5 %, 50/60 Hz, 16 A, 3 相 | |
压缩空气 | 6 - 10 巴 |
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
德国海德堡激光直写光刻机VPG 300 DI 的工作原理介绍
激光直写光刻机VPG 300 DI 的使用方法?
德国海德堡VPG 300 DI 多少钱一台?
激光直写光刻机VPG 300 DI 可以检测什么?
激光直写光刻机VPG 300 DI 使用的注意事项?
德国海德堡VPG 300 DI 的说明书有吗?
德国海德堡激光直写光刻机VPG 300 DI 的操作规程有吗?
德国海德堡激光直写光刻机VPG 300 DI 报价含票含运吗?
德国海德堡VPG 300 DI 有现货吗?
最多添加5台