曝光模式： 投影式
产地类别： 进口
分辨率： 250nm;300nm
光源： 氮化镓激光二极管
光源波长： 375nm;405nm
光强均匀性： ±0.5%
曝光面积： 最大150mm*150mm
看了无掩模光刻机/直写光刻机的用户又看了
PicoMaster ATE-150
PicoMaster ATE-150是一款具有超高精度组件的多功能紫外激光写入器，专为用户提供在感光层中创建最高自由度的微结构而设计。系统的光栅化工作原理，搭配上高速扫描以及可调螺距步进激光头，确保了整个曝光制程在感光层表面准确而稳定地完成。
系统优点
v系统支持高达4095级的灰度、纯二进制模式；
v系统对准精度最高小于250纳米，线宽均匀性小于50纳米；
v系统最大支持6英寸基版，200毫米/秒扫描速度，150x150毫米曝光面积；
v系统采取全封闭结构设计，必需的部件、控制架构和真空泵都在外壳内，便于快速安装；
v系统连接到空气温度调节器机组开始供应空调空气时，内置堆式过滤器将产生干净的交叉气流；
v系统运动平台由机械缓振系统支撑，它将过滤掉绝大多数的噪音振动，以确保工作时的振动最小
v紧凑型光学模块，将整个光路包含其内，这使得光路尽可能地缩短，与传统光学装置相比，其指向稳定性将大大提高；
v为获得最佳的光斑形状，光学模块设计了光束整形光学元件，配合长寿命的405纳米氮化镓激光二极管进行光刻制程；
v搭配拥有自主专利的高数值孔径物镜，这使得市场上最小的高质量激光束光斑成为现实；
v光学模组中，650纳米红色激光控制自动对焦系统可自动校正高度变化。
v选项：可根据要求提供375纳米波长的光学模块替换405纳米光学模组。
v选项：对于要求较低的任务，可通过使用全自动数值孔径开关来选择较大的光斑大小。此开关允许系统使用更大的光斑尺寸来提高直写速度。
v选项：系统配备375 纳米光学模块后，将支持用户使用仅适用于I-line光源的光阻，而光斑尺寸会减小到270纳米，这将允许系统以更高的分辨率写入线条。
| 光学系统 | |
| 直写激光 | 405纳米或375纳米 |
| 激光寿命 | 超过10000个工时，5年以上； |
| 激光强度 | 光斑强度最大3毫瓦，可由软件控制； |
| 灰度控制 | 4095级 |
| 直写模式 | |
| 直写精度 | 0.3微米, 0.6微米, 0.9微米 |
| 曝光区域 | 最大150x150毫米 |
| 基版尺寸 | 最小5x5毫米, 最大160x160毫米 |
| 直写表征 | |
| 线宽尺寸 | 最小0.3微米 |
产品货期: 300天
整机质保期: 12月
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后5天内
电话支持响应时间: 24小时内
是否提供维保合同: 否
维修响应时间: 3天内
Raith/矽万激光直写光刻机PicoMaster ATE-150的工作原理介绍
激光直写光刻机PicoMaster ATE-150的使用方法?
Raith/矽万PicoMaster ATE-150多少钱一台?
激光直写光刻机PicoMaster ATE-150可以检测什么？
激光直写光刻机PicoMaster ATE-150使用的注意事项？
Raith/矽万PicoMaster ATE-150的说明书有吗？
Raith/矽万激光直写光刻机PicoMaster ATE-150的操作规程有吗？
Raith/矽万激光直写光刻机PicoMaster ATE-150报价含票含运吗？
Raith/矽万PicoMaster ATE-150有现货吗？
