曝光模式: 投影式
产地类别: 进口
分辨率: 250nm;300nm
光源: 氮化镓激光二极管
光源波长: 375nm; 405nm
光强均匀性: ± 0.5%
曝光面积: 最大110X110mm
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MicroMaster 激光直写光刻机
MicroMaster 是一款多功能的紫外激光写入器,具有高精度的组件,专为用户在感光层上设计创建最高自由度的微结构。 MicroMaster 是一个完整的操作系统。它拥有405纳米波长光学模块,能够在光阻层中写入最小0.8微米的结构。这个用户友好的工具支持高达4095级的灰度或纯二进制模式,并允许3D光学结构,表面结构以及掩模项目。 激光控制的实时自动对焦和激光强度控制,确保整个曝光过程中的高质量成像。 MicroMaster 广泛应用于半导体光刻, LED芯片, 微流控芯片, 微纳结构, 灰度光刻, 三维加工, 全息影像等多个领域。
MicroMaster 无掩模激光直写系统性能规格
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 无
免费培训: 免费安装及技术培训
免费仪器保养: 6个月一次
保内维修承诺: 经确认质量问题,免费更换
报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修
Raith/矽万激光直写光刻机MicroMaster 的工作原理介绍
激光直写光刻机MicroMaster 的使用方法?
Raith/矽万MicroMaster 多少钱一台?
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