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◇12英寸晶圆全曝光成为可能。
◇通过与晶圆自动传输系统（EFEM）对接，可以实现机器人的多阶段加工。
◇加速电压可根据用途选择50、100、125、150kV。
◇通过选择大电流为 800 nA 的高电流模型，可以实现超出电子束光刻常识的高吞吐量微细加工。
产品特点
◇业界快的 400 MHz 高速扫描
迄为止，在大电流绘图时，需要根据小剂量时间和佳剂量之间的平衡来设置较宽的发射间距 。 ELS-BODEN Σ采用400 MHz扫描频率 ， 小剂量时间是传统设备的1/4，实现了大电流小间距的高速高质量的曝光。
◇更快的载物台速度
布置大量绘制区域或在绘制过程中重复检测对准标记会增加载物台的驱动次数。 执行此类绘图时，载物台的驱动速度很重要。ELS-BODEN Σ采用可高速驱动的平台，使其成为强调吞吐量的工业应用的有利规格。
◇减少外部干扰的影响
ELS-BODEN Σ标配恒温Box和磁场消除器，减少了环境中的干扰，并实现了稳定的过程。
主要规格
电子枪 | ZrO/W热场发射型 | |||
加速电压 | 50 kV | 100 kV | 125 kV | 150 kV |
光束电流 | 1 nA ～ 800 nA | 20 pA ～ 100 nA | 5 pA ～ 100 nA | 5 pA ～ 100 nA |
小光束直径 | D 2.8 nm | D 1.8 nm | D 1.7 nm | D 1.5 nm |
标准写场大小 | 1000 μm□ | 1000 μm□ | 500 μm□ | 500 μm□ |
小/大写场大小 | 小 100 μm□ 大（选项）3000 μm□ | |||
扫描频率 | 大 400 MHz | |||
发射间距 | 小 0.2 nm | |||
大试样尺寸 | 8" 晶片 / 12" 晶片 | |||
大绘图区域 | 200 mm x 200 mm / 300 mm x 300 mm | |||
输送机构 | 单自动加载器 机器人装载机 | |||
Software | elms •束流调整功能 •曝光文件功能 •图案数据转换功能 •帐户管理功能 •Python脚本 | |||
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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