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本机是一款全自动晶片刷洗机，全程封闭环境采用机械手自动操作，具备刷洗甩干功能，适用于各种半导体衬底材料抛光后的刷洗，可有效减少晶片表面颗粒污染。
具备刷洗甩干功能，全程封闭环境机械手操作，风险小，避免二次污染
PLC触摸屏控制，机械手自动完成cassette to cassette的全自动晶片刷洗工作
可兼容2、4、6英寸晶片
尽量减少洁净间的占地面积
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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