看了湿法清洗设备的用户又看了
977晶圆清洗机系统专为切割后工件清洗和干燥而设计,配有旋转卡盘台、旋转清洗/干燥臂。臂可配置雾化清洁喷嘴或高压喷嘴,满足各种清洁度要求。
一键式启动,自动导线盖关闭>操作快速简便
坚固的机械和电气设计>高可靠性
以下是详细列出的文字信息:
977 型号:
最大工件尺寸:Φ200 mm (8")
清洗方法:Atomizing / High pressure
可保存处理程序数量:8
旋转速度范围:50~3,000rpm
电源电压:200VAC / 230VAC, 单相
电源频率:50Hz / 60Hz
标示功率:690VA
气压 / 氮压:4~5bar
水流速:0.5~2 mL/mm
压力:3~4 bar
排气:100CFM
尺寸:410×625×946 (mm)
重量:120Kg
977L 型号:
最大工件尺寸:Φ300 mm (12")
清洗方法:Atomizing / High pressure
可保存处理程序数量:8
旋转速度范围:50~2,000rpm
电源电压:200VAC / 230VAC, 单相
电源频率:50Hz / 60Hz
标示功率:690VA
气压 / 氮压:4~5bar
水流速:0.5~2 mL/mm
压力:3~4 bar
排气:100CFM
尺寸:520×809×946 (mm)
重量:200Kg
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
先进划片湿法清洗设备977的工作原理介绍
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