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特思迪

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IVG-2040/3040

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中国大陆

  • 银牌
  • 第2年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

全自动减薄机是配有全自动上、下片系统的高精度研削设备,采用晶圆机械手取片,带有自动对中、清洗、干燥功能,可实现盒到盒、干进干出的全自动减薄抛光研削加工。

功能全面;自动厚度测量 多段研削程序 超负载等待。

全自动系统;全自动上下片,干进干出的全自动研削系统。

兼容性好;可磨削各类半导体材料 适应2-12英寸晶圆减薄。


项目IVG-2040IVG-3040
最大晶圆尺寸8英寸12英寸
砂轮规格Ø203(OD)mmØ303(OD)mm
砂轮轴功率6.0kW9.5kW
砂轮轴转速范围0~6000 RPM0~4000 RPM
工作台转速0~380 RPM0~380 RPM
Z轴进给速度0.1~1000 um /sec0.1~1000 um /sec
厚度在线测量重复精度±0.001 mm±0.001 mm
厚度在线测量范围(OMM)0-4800um0-4800um
全自动上下片系统
NCG非接触实时测厚系统可选配可选配


售后服务承诺

产品货期: 60天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

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全自动单轴减薄机信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供,如您想了解更多关于全自动单轴减薄机报价、型号、参数等信息,深圳市矢量科学仪器有限公司客服电话:400-860-5168转5919,欢迎来电或留言咨询。
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