面议

暂无评分

特思迪

暂无样本

TSC-150C/200C

--

中国大陆

  • 银牌
  • 第2年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

该系列设备是碳化硅晶圆抛光后的专用清洗设备,采用连线式结构,设备加配全自动上下片系统。该系列设备配有漂洗、双面刷洗、兆声清洗、N2吹干、高速甩干功能,集成度高,占地面积小,湿进干出,适用于碳化硅晶圆抛光后的清洗。

产品特点

全自动系统

皮带传动, cassette in/out 干进干出

PLC控制系统

触摸屏操作

清洗工艺

预清洗/双面刷洗/药液喷雾漂洗 /兆声喷淋/高速甩干/氮气吹干

刷子类型

PVA 刷, 双面刷洗

性能参数

规格/参数TSC-150CTSC-200C
工艺双面刷洗双面刷洗
清洗工位皮带传送式6工位皮带传送式6工位
上下片全自动全自动
晶圆尺寸3-6 inch6-8 inch
上料位浸没式浸没式
漂洗(预清洗)DIW冲洗DIW冲洗
刷洗工位*22个PVA刷,双面刷洗2个PVA刷,双面刷洗
PVA刷转速30-400 RPM30-400 RPM
兆声清洗可选可选
氮气吹干


售后服务承诺

产品货期: 60天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

用户评论
暂无评论
问商家

特思迪湿法清洗设备TSC-150C/200C的工作原理介绍

湿法清洗设备TSC-150C/200C的使用方法?

特思迪TSC-150C/200C多少钱一台?

湿法清洗设备TSC-150C/200C可以检测什么?

湿法清洗设备TSC-150C/200C使用的注意事项?

特思迪TSC-150C/200C的说明书有吗?

特思迪湿法清洗设备TSC-150C/200C的操作规程有吗?

特思迪湿法清洗设备TSC-150C/200C报价含票含运吗?

特思迪TSC-150C/200C有现货吗?

CMP后清洗机信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供,如您想了解更多关于CMP后清洗机报价、型号、参数等信息,深圳市矢量科学仪器有限公司客服电话:400-860-5168转5919,欢迎来电或留言咨询。
移动端

仪器信息网App

返回顶部
仪器对比

最多添加5台