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该系列设备是碳化硅晶圆抛光后的专用清洗设备,采用连线式结构,设备加配全自动上下片系统。该系列设备配有漂洗、双面刷洗、兆声清洗、N2吹干、高速甩干功能,集成度高,占地面积小,湿进干出,适用于碳化硅晶圆抛光后的清洗。
皮带传动, cassette in/out 干进干出
触摸屏操作
预清洗/双面刷洗/药液喷雾漂洗 /兆声喷淋/高速甩干/氮气吹干
PVA 刷, 双面刷洗
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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