曝光模式： 投影式
产地类别： 进口
分辨率： 详见资料
光源： 详见资料
光源波长： 详见资料
光强均匀性： 详见资料
曝光面积： 详见资料
看了无掩模光刻机/直写光刻机的用户又看了
奥地利EVG 紫外光刻机EVG620，双面对准单面曝光
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 免费安装及技术培训
免费仪器保养: 6个月一次。
保内维修承诺: 经确认质量问题，免费更换。
报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修
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