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广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
| 分辨率 | 0.35µm |
| N.A. | 0.63 |
| 曝光光源 | 365nm |
| 倍率 | 5:1 |
| 最大曝光现场 | 22mm*22mm |
| 对准精度 | LSA：55nm |
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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