曝光模式: 投影式
产地类别: 进口
分辨率: 详见资料
光源: 详见资料
光源波长: 详见资料
光强均匀性: 详见资料
曝光面积: 详见资料
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俄罗斯Optosystems准分子激光器:CLS 5000
准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。
CLS 5000技术参数:
可选功能和附件:
可能配置1000和2000赫兹
CLS 5000主要特点:
非常高的光束指向稳定性
高重复频率
能量稳定性好
设计紧凑
内置能量控制
带磁转换发生器
应用:
布拉格光栅
无掩膜光刻
准分子材料加工
激光视力矫正
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 免费安装及技术培训
免费仪器保养: 6个月一次。
保内维修承诺: 经确认质量问题,免费更换。
报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修
激光直写光刻机CLS5000的工作原理介绍
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