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广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
分辨率 | 0.12µm |
N.A. | 0.82 |
曝光光源 | 248nm |
倍率 | 4:1 |
最大曝光现场 | 25mm*33mm |
对准精度 | 20nm |
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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